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工程研究—跨学科视野中的工程期刊
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砷化镓芯片生产项目污染源分析及治理措施研究
砷化镓芯片生产项目污染源分析及治理措施研究
作者:
李卓
原文服务方:
工程研究—跨学科视野中的工程
砷化镓
芯片
污染源
污染防治
摘要:
砷化镓化合物半导体是目前研究最深入、应用最广泛的化合物半导体材料.基于自身材料和生产工艺的不同,砷化镓芯片生产项目在污染源及防治措施方面与硅半导体有很大区别.为有效控制砷化镓芯片生产项目的环境影响,有必要对砷化镓芯片生产项目的污染源及防治措施进行研究.本文首先对污染因子及相关环境标准进行筛选,其次根据生产工艺分析了污染源的分布情况,进而阐述了污染物的治理措施,并进行了技术可行性分析.
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文献信息
篇名
砷化镓芯片生产项目污染源分析及治理措施研究
来源期刊
工程研究—跨学科视野中的工程
学科
关键词
砷化镓
芯片
污染源
污染防治
年,卷(期)
2011,(1)
所属期刊栏目
工程前沿
研究方向
页码范围
26-31
页数
分类号
X76
字数
语种
中文
DOI
10.3724/SP.J.1224.2011.00026
五维指标
作者信息
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姓名
单位
发文数
被引次数
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1
李卓
2
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节点文献
砷化镓
芯片
污染源
污染防治
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工程研究—跨学科视野中的工程
主办单位:
中国科学院大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1674-4969
CN:
11-5780/TB
开本:
大16开
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
2009-01-01
语种:
chi
出版文献量(篇)
906
总下载数(次)
0
总被引数(次)
3717
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