静电微泵吸合与释放特性研究

• 作者: 应济 徐亮 李俊 王硕
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)静电 微泵 吸合 释放
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 68-72
• 分类号: TH323|TB125
• 语种: 中文

摘要

为避免静电微泵因驱动电压过高而出现吸合现象,建立描述静电泵膜吸合与释放现象的一维集中质量模型、二维分布式模型和三维有限元模型,对比研究静电致动泵膜在准静态下吸合与释放的循环过程,获得整个循环过程的泵膜挠曲线变化、泵腔体积变形、电容变化等大量的数据与曲线.比较结果表明,二维分布式模型求解效果最好,并利用三维有限元模型和宏模型的计算结果,验证该模型在泵膜大变形下计算吸合过程的准确性,获得的吸合电压为确定静电微泵驱动电压的上限值提供有效依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应济	浙江大学机械工程学系	41	442	11.0	19.0
2	王硕	浙江大学机械工程学系	11	52	5.0	7.0
3	李俊	浙江大学机械工程学系	33	274	10.0	15.0
4	徐亮	浙江大学机械工程学系	40	91	6.0	9.0