改良西门子法制备工艺及其生产技术现状

• 作者: 徐远志
• 来源期刊: 云南冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 改良西门子法 理论基础 技术现状
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 金属材料与加工
• 页码范围: 52-55
• 分类号: TM
• 字数: 3593字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-0308.2011.01.011

摘要

对改良西门子法生产多晶硅的原则流程、理论基础,工艺流程的优缺点进行了阐述和分析;剖析了目前工业生产中的技术现状.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐远志		8	73	5.0	8.0