脉冲调制射频容性耦合SiH/C2H4/Ar放电的发射光谱诊断

• 作者: 张娇 张鹏云
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲调制 发射光谱诊断 电子激发温度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 27-31
• 分类号: O536|O433.1
• 字数: 3904字
• 语种: 中文

摘要

本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率法计算了电子激发温度,研究了占空比、调制频率、功率及气压等对电子激发温度和谱线相对强度的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张鹏云	大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室	9	52	4.0	7.0
2	张娇	大连理工大学三束材料表面改性教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0