先进测量洁净实验室概念设计探讨

• 作者: 汪洪军 王健
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 学科: 工学
• 关键词: 先进 洁净 实验室 概念设计
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 12-14
• 分类号: TU831.2
• 字数: 3284字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-3298.2011.04.004

摘要

依据对美国国家标准技术研究院（NIST）和普渡大学Birck纳米技术中心（BNC）先进测量洁净实验室的参观学习，并结合中国计量科学研究院（NIM）即将建设的先进测量洁净实验室的需求分析，对该类实验室的工艺要求提出了概念性设计方案，希冀能给类似实验室建设需求分析和概念设计提供一些参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪洪军		25	30	3.0	3.0
2	王健		38	81	6.0	7.0