不同非平衡度磁场环境中溅射等离子体的诊断与分析

• 作者: 曹政 杨波 蒋百灵 鲁媛媛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非平衡磁场 Langmuri探针 .等离子体密度 磁感应强度
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 等离子体技术
• 页码范围: 696-700
• 分类号: TB43
• 字数: 2102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.06.09

摘要

采用Langmuir探针对两种不同非平衡度磁场环境中(K值分别为2.78和6.41)的溅射等离子体进行诊断,并使用高斯仪测量靶材表面的磁感应强度,结合靶材表面磁场分布的Ansys软件模拟,分析了等离子体在非平衡磁场环境中的运动规律.结果表明:磁控阴极内侧(靶材表面中部)的溅射等离子体主要参数(离子密度、电子密度及电子温度)在两种不同非平衡度磁场中都具有随靶基距增大而逐渐减小的趋势,大量带电粒子从磁控阴极外端向远离靶材表面的区域运动；K为2.78时的等离子体参数在靶材表面的刻蚀环正上方60mm范围内明显高于K为6.41时,前者靶材表面的磁感应强度大于后者；向外发散的磁力线数量随K值的增大而增多.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	杨波	西安理工大学材料科学与工程学院	35	246	8.0	14.0
3	曹政	西安理工大学材料科学与工程学院	12	52	5.0	6.0
4	鲁媛媛	西安理工大学材料科学与工程学院	8	27	4.0	5.0