金属薄膜电阻特性与厚度测量

• 作者: 潘李宜基
• 来源期刊: 大学物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜生长长 薄膜电阻 薄膜测量
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 实验研究
• 页码范围: 1-4
• 分类号: O484.3
• 字数: 3292字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2934.2011.01.001

摘要

考察不同沉积时间的金属铝与铜的薄膜的沉积态,电阻变化与厚度,厚度测量采用实验室光学干涉和透过率对比方法.金相显微与铝铜电阻变化的测量表明,不连续薄膜与连续过渡之间,电阻显著变化处不同.铝膜电阻随时间变化过程开始时存在波动状态.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘李宜基		3	7	2.0	2.0