氧分压对CU掺杂ZnO薄膜的结构及光学特性的影响

• 作者: 尚小荣 苏畅 马书懿 马李刚
• 来源期刊: 西北师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO:Cu薄膜 氧分压 磁控溅射 光学特性
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 15-20
• 分类号: O484
• 字数: 4210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-988X.2011.03.004

摘要

采用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了不同氧分压的Cu掺杂ZnO(ZnO∶Cu)薄膜.利用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见分光光度计和光致荧光发光(PL)等表征技术,研究了不同氧分压对Zno∶Cu薄膜的微观结构和光学特性的影响.研究结果显示,随着氧分压的增加,薄膜的(002)衍射峰先增强后减弱,同时(100)、(101)和(110)衍射峰在(002)衍射峰增加时减小,表明氧分压可以影响ZnO∶Cu薄膜的结晶取向.薄膜在紫外-可见光范围的透过率超过70%,同时随着氧分压的增加,薄膜的光学带隙值先增大后减小.通过对光致发光的研究表明,射频磁控溅射法在低氧和高氧环境条件下都可制得好的发光薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马书懿	西北师范大学物理与电子工程学院	69	226	8.0	11.0
2	尚小荣	西北师范大学物理与电子工程学院	5	26	3.0	5.0
3	马李刚	西北师范大学物理与电子工程学院	3	5	1.0	2.0
4	苏畅	西北师范大学物理与电子工程学院	1	1	1.0	1.0