MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析

• 作者: 刘俊 唐军 石云波 赵锐
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度传感器 大量程 面内 结构设计
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1118-1121
• 分类号: TP212
• 字数: 2597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.08.007

摘要

针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求,设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器.该传感器结构双端固支梁-质量块结构,可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰,提高了测量精度.仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41 μV/gn,可实现对150 000 gn的加速度载荷的测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊		181	1162	17.0	24.0
2	石云波		108	610	14.0	20.0
3	唐军		64	114	5.0	9.0
4	赵锐		9	61	4.0	7.0