真空计的发展概况与趋势

• 作者: 干蜀毅 戴佳鑫 李杰 梁平
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计 真空测量 微机电系统 电容薄膜真空计
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 53-57,62
• 分类号: TB772
• 字数: 5212字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2011.01.012

摘要

真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异.真空计的微型化是其主要发展趋势.概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	干蜀毅	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系	59	703	12.0	25.0
2	梁平	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系	25	216	10.0	14.0
3	李杰	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系	12	35	3.0	5.0
4	戴佳鑫	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系	5	21	2.0	4.0