激光制备类金刚石膜技术研究

• 作者: 杨雪 王淑云 程勇 郭延龙 陆益敏
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 激光沉积 氧气氛 掺杂
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 51-55
• 分类号: O484
• 字数: 3901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2011.03.012

摘要

现有技术制备的类金刚石(DLC)膜由于含氢、硬度低、内应力大、附着力差等特点,严重限制了其光学工程应用.激光法是近年发展的一种制备DLC膜的新方法,相比其他制备方法具有诸多优点.综合分析了激光制备DLC膜过程中,激光波长、脉宽、功率密度、衬底温度和偏压等因素对薄膜质量的影响规律.采用氧气氛辅助沉积、元素掺杂和双波长激光复合沉积等关键改进技术,实现了在Si、Ge等基底上激光制备DLC膜光学工程化应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程勇	武汉军械士官学校光电技术研究所	63	546	12.0	20.0
2	郭延龙	武汉军械士官学校光电技术研究所	31	246	8.0	15.0
3	杨雪	武汉军械士官学校光电技术研究所	10	97	4.0	9.0
4	王淑云	武汉军械士官学校光电技术研究所	15	65	5.0	7.0
5	陆益敏	武汉军械士官学校光电技术研究所	16	36	4.0	5.0