真空沉积掺杂制备PARYLENE功能薄膜研究

• 作者: 何庆 刘景全 李以贵 杨春生 芮岳峰
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: Parylene 真空沉积 干法掺杂 纳米粉体
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 18-20
• 分类号: TGL
• 字数: 1913字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了高分子材料PARYLENE的真空沉积机理及其优越性和不足.提出了一种在PARYLENE真空沉积过程中引入机械掺杂制备具有特定功能的PARYLENE高分子薄膜的方法并给出了掺杂试验设备设计方案.最后提出了影响机械粉体掺杂效果的几个因素.