SPC在半导体生产中的应用

• 作者: 于信明 倪涛
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 统计过程控制技术 MIM电容 正态分布 工序能力指数 控制图
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 制造工艺技术
• 页码范围: 280-282,321
• 分类号: TN605
• 字数: 1943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2011.04.006

摘要

统计过程控制(statistic process control,SPC)是一种科学有效的方法,该技术的应用改变了以往靠经验来进行调整生产的模式.以MIM电容为例,首先通过对电容客值数据连续采集,进行定量的数理统计分析,评估该工艺的工艺控制能力.然后绘制控制图,对工艺进行监控.通过分析控制图,最终对工艺过程的能力水平以及是否处于统计受控状态作出定量结论.在工艺过程中当发现统计数据异常时,及时采取纠正措施,使工艺状态始终受控.通过运用SPC技术对数据进行分析,能有效改进工艺,提高产品质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	倪涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	8	18	2.0	4.0
2	于信明	中国电子科技集团公司第十三研究所	2	2	1.0	1.0