高品质因子MEMS陀螺仪驱动控制方案研究

• 作者: 冯舟 李丹东 李宏生 梁新建 薛旭
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 航空航天
• 关键词: MEMS陀螺仪 真空封装 自动增益控制 PID控制
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 36-41
• 分类号: V241.5+9
• 字数: 2916字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.03.008

摘要

真空封装技术和高性能闭环驱动控制方案,是提高MEMS陀螺仪性能的重要措施.通过器件级真空封装技术的研究,使得MEMS陀螺仪Q值达到3000,成品率达到98％,极大地提高了MEMS陀螺仪整表的精度水平和工程化能力,在此基础上,针对高Q值陀螺仪稳幅及稳频控制的难点,设计了一种基于随动控制的自动增益控制回路(AGC),在理论仿真的基础上,完成了系统及电路设计,实测驱动轴幅度稳定性为50ppm,频率稳定性为6ppm,上电起振时间优于200ms.采用真空封装技术及高精度AGC控制设计方案使得MEMS陀螺仪整表零偏稳定性达到37°/h,标度因数非线性度为0.2％(FS),标度因数重复性为35ppm,并存在很大的提升潜力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹东		17	114	5.0	10.0
2	李宏生	东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室	61	479	11.0	18.0
3	薛旭		6	30	4.0	5.0
4	梁新建		5	18	2.0	4.0
5	冯舟		1	1	1.0	1.0