薄膜厚度对TGZO透明导电薄膜光电性能的影响

• 作者: 刘汉法 张化福 王振环
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: TGZO薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 厚度
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 183-186
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2298字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.02.12

摘要

利用直流磁控溅射法,在室温水冷玻璃衬底上成功制备出了可见光透过率高、电阻率低的钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜研究结果表明,TGZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.研究了厚度对TCZO透明导电薄膜电学和光学性能的影响,结果表明厚度对薄膜的光电性能有重要影响.当薄膜厚度为628 nm时,薄膜具有最小电阻率2.01×10-4 Ω穋m.所制备薄膜在波长为400～760 nm的可见光中平均透过率都超过了91%,TGZO薄膜可以用作薄膜太阳能电池和液晶显示器的透明电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
2	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
3	王振环	山东理工大学理学院	12	32	3.0	5.0