超声功率标准换能器铌酸锂压电晶片的设计研究

• 作者: 方强 汤昌社
• 来源期刊: 计量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 铌酸锂 标准换能器 压电晶片 基本坐标系 压电方程
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 测量与设备
• 页码范围: 16-19
• 分类号: TB552
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0771.2011.06.005

摘要

本文探讨了设计合适的铌酸锂压电晶片以研制高频高效的超声功率标准换能器,该换能器用于毫瓦级超声功率国家基准.论文分析铌酸锂各种切型的压电性能并选择最优切型用于研制标准换能器,给出晶片自由振动时的等效电阻抗和集总参数等效电路,以及晶片厚度和共振频率的关系.用所设计晶片研制出共振频率为18.5MHz的标准换能器,其辐射声导值达33.4mS.