CLAM钢表面硬质薄膜的制备与性能研究

• 作者: 储汉奇 李合琴 聂竹华 都智
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 射频反应磁控溅射 CLAM钢 A12O3薄膜 SiC薄膜 W薄膜 SiC/A12O3双层膜 W/A12O3双层膜 显微硬度
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 67-71
• 分类号: TB43
• 字数: 3873字
• 语种: 中文

摘要

采用射频反应磁控溅射法在中国低活化马氏体(CLAM)不锈钢表面制备了单层Al2O3、SiC、W薄膜以及SiC/Al2O3、W/Al2O3双层膜.对所制备的薄膜进行了XRD结构分析、AFM表面形貌测试和显微硬度测试.结果表明:单层SiC薄膜表面出现了部分脱落,而SiC/AlO3双层膜表面完整光滑.W/Al2O3双层薄膜表面平整光滑,均方根粗糙度为4.28 Ha.W单层薄膜和W/Al2O3双层薄膜经氩气中800℃退火2 h后硬度最高,分别达到了34.4 GPa和31.3 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李合琴	合肥工业大学材料科学与工程学院	71	273	8.0	12.0
2	聂竹华	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0
3	储汉奇	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0
4	都智	合肥工业大学材料科学与工程学院	6	17	2.0	4.0