多阴极金属等离子体源的特性及应用研究

• 作者: 王小峰 王浪平 解志文 闫久春 陆洋 黄磊
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 多阴极等离子体源 均匀性 复合薄膜 硬度
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 18-21
• 页数: 4页
• 分类号: O539|O484.5
• 字数: 2182字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种新型的多阴极金属等离子体源,对离子流分布均匀性、导管偏压和约束磁场电流进行了测试和优化.采用该装置制备了TiAlSiN多元复合薄膜,利用EDX、XRD、XPS和纳米探针对薄膜的组成、微结构和力学性能进行测试分析.结果表明,该装置可成功地制备复合薄膜,合成的薄膜具有n-TiAlN/a-Si3N4复合结构,具有高的硬度(≥35 GPa).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	闫久春	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	86	817	17.0	23.0
2	黄磊	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	21	127	7.0	10.0
3	王浪平	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	42	276	9.0	14.0
4	王小峰	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	35	258	9.0	14.0
5	解志文	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	6	48	4.0	6.0
6	陆洋	哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室	8	48	4.0	6.0