多晶硅生产中废气淋洗塔着火及系统产生无定型硅的原因分析及处理措施

• 作者: 陆大军
• 来源期刊: 云南化工
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 淋洗塔 无定型硅 还原炉
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 设备技改
• 页码范围: 57-58
• 分类号: TN304.1+2
• 字数: 1437字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-275X.2011.01.016

摘要

多晶硅炉试生产一个月后,废气淋洗塔在一周内着火9次.经检查,还原炉炉壁、炉子基盘上散布有无定型硅粉,回收的氯硅烷颜色呈黑灰色,系统检测DCS含量达10% ;MSA还原炉反应温度在900～1000℃之间,GT还原炉反应温度在1050℃～1100℃之间.分析研究后认为,MSA还原炉反应温度过低,处在生成DCS和无定型硅的温度区域,管道内富集了无定形硅,造成系统的堵塞,致废弃淋洗塔产生着火现象.采取了提高还原反应温度至1100～1150℃的措施,两周后,系统检测DCS含量降低到4%左右,淋洗塔不再着火,回收的氯硅烷颜色恢复.