高温热处理气氛对低氟MOD法制备YBCO超导薄膜的影响研究

• 作者: 夏钰东 张飞 赵晓辉 陶伯万 高昶
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: MOD YBCO薄膜 气体流速 氧分压
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

金属有机物沉积法(MOD)制备YBa2Cu3O7-x(YBCO)涂层导体是最具有商业前景的方法之一.本文使用环烷酸铜代替三氟乙酸铜,降低了前驱液中大约50%的氟含量.然后在带有缓冲层(Y2O3/YSZ/CeO2)的Ni-5at.%W基带上采用MOD法制备了YBCO薄膜并系统研究了高温热处理过程中气体流速和氧分压对YBCO薄膜的结构、表面形貌以及性能的影响.X射线衍射(XRD)分析表明在不同的气体流速下,薄膜均呈现明显的YBCO(001)取向.扫描电镜(SEM)分析显示气体流速较低时制备的薄膜表面较为平整,孔洞较少且无裂纹,而气体流速较高时制备的薄膜表面粗糙,孔洞较多.在不同的氧分压下,虽然所有薄膜均为纯c轴取向,但其面内外取向程度有所差异.最优工艺参数下制备的YBCO薄膜在77K、自场下的临界电流密度(Jc)和临界电流(Ic)分别为0.2MA/cm2和40A/cm-width.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶伯万		39	165	5.0	10.0
2	赵晓辉		12	29	3.0	5.0
3	张飞		9	4	1.0	1.0
4	高昶		1	0	0.0	0.0
5	夏钰东		3	1	1.0	1.0