扁平振动电机驱动的无阀微泵的研究

• 作者: 王登伟 苏波
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 扁平振动电机 无阀微泵 PDMS振动膜 扩散口/喷口
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 23-25
• 分类号: TM359.9
• 字数: 3151字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2011.04.006

摘要

研制了一种新型的电磁驱动式无阀微泵,该微泵利用有机玻璃制作泵腔,采用扩散口/喷口的结构,以PDMS作为振动膜,利用扁平振动电机作为驱动部件.对微泵的振动频率和输出流量进行了测试,结果显示,电压在1.0 V～1.8 V范围内时,微泵的输出流量随着电压的升高而增加,当电压在1.8～3.3 V时,微泵输出的流量保持稳定,达到150 μL/min.具有良好的性能和低廉的成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏波	首都师范大学物理系	16	16	2.0	3.0
2	王登伟	中国科学院微电子研究所	3	3	1.0	1.0