基于红外光干涉技术的微纳结构内部三维形貌测量

• 作者: 丑修建 张文栋 杜妙璇 牛康康 薛晨阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 白光扫描 红外光干涉 微纳结构 形貌测量
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 196-199
• 分类号: O436.1
• 字数: 3434字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2011.02.008

摘要

基于红外光在半导体材料中的透射特性,将白光扫描干涉方法从可见光波段推广到红外光波段.设计研制了Linnik 结构红外光干涉系统,对具有三层台阶结构的微器件进行了无损三维形貌测试.实验结果表明,采用红外光对半导体材料微纳结构透射后的反射干涉技术,可以准确实现微纳结构内部三维形貌测量.可实现百nm量级台阶高度的准确透射测试,纵向测量误差控制在5%以内.该方法可广泛应用于半导体微纳器件结构测量技术领域,实现半导体器件封装后的内部形貌测试、键合界面质量评估以及在线工艺检测等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室	136	765	14.0	21.0
3	杜妙璇	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
4	丑修建	中北大学电子测试技术国家重点实验室	49	225	9.0	13.0
5	牛康康	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	21	2.0	2.0