机械功能硬质薄膜的研究及应用

• 作者: 代明江 林松盛 陈军
• 来源期刊: 材料研究与应用
• 关键词: 硬质薄膜 性能 应用
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 综合评述
• 页码范围: 9-13
• 分类号: O484|TG174.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9981.2011.01.003

摘要

广州有色金属研究院研究开发出二元氮化物、多元多层膜和本征超硬膜等多种类型的机械功能硬质薄膜,文中对其研发的膜层及其性能和应用进行了归纳和总结.