大口径大曲率半径光学元件的高精度检测

• 作者: 叶海仙 杨李茗
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 长程轮廓仪 曲率半径测量 算法精度 旋转测量
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1207-1212
• 分类号: TH74
• 字数: 2713字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111906.1207

摘要

针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题,提出利用长程轮廓仪(LTP)来进行大口径大曲率半径(正、负)光学元件的精确测量,并通过实验证明了L,TP检测大曲率半径光学元件的优势.分析计算了LTP测量曲率半径的算法精度,设计了合理的机械结构进行旋转测量,得到了全口径的曲率半径分布.最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比.对R＝37.108 m和R＝41.065 m的球面镜测量结果显示,LTP的测量重复性在0.05％以内,与球径仪、刀口仪的测量值相差均在0.05％以内.研究结果表明,LTP可以用来解决目前几十米的大R曲率半径光学元件难以高精度测量的难题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨李茗		35	223	9.0	12.0
2	叶海仙		2	26	2.0	2.0