球面微通道板在极紫外波段的量子探测效率

• 作者: 尼启良 王海峰 陈斌 韩素立
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外(EUV)相机 球面微通道板 次级电子产额 量子探测效率
• 年，卷（期）: 2011,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2596-2602
• 分类号: TN144
• 字数: 2690字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20111911.2596

摘要

由于球面微通道板(MCP)的量子探测效率与极紫外(EUV)相机的灵敏度有关,本文研究了球面MCP量子探测效率的特点和测量方法.根据微通道板在EUV波段光电子产额的理论模型,计算了球面MCP在该波段下随不同入射角变化的电子产额.使用激光等离子体光源测量球面MCP在EUV波段的量子探测效率,搭建了球面MCP在该波段的量子探测效率的测量装置,测量了球面MCP在不同位置的量子探测效率随波长和入射角的变化曲线.实验结果表明,入射角为15.时的量子探测效率约为入射角为0.时的5倍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	87	676	13.0	21.0
2	尼启良	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	35	217	8.0	13.0
3	陈斌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	105	1004	16.0	28.0
4	韩素立		3	14	2.0	3.0