几种硫鎓盐类光产酸剂的合成与性质

• 作者: 刘娟 王争 王力元
• 来源期刊: 影像技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光产酸剂 光致抗蚀剂 硫鎓盐 光解 量子效率
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 13-16,12
• 分类号: T0577.3+5
• 字数: 2674字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0270.2011.04.03

摘要

硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中.本论文选择不同的酚化合物为原料,使之与二甲基亚砜和氯化氢反应,合成了一系列硫鎓盐化合物,研究了其在有机溶剂中的溶解性、热稳定性、紫外吸收性质及其光解特性.以低压汞灯为曝光光源,测定了该类光产酸剂的光解量子效率在0.2-0.7范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王力元	北京师范大学化学学院	22	78	5.0	8.0
2	刘娟	北京师范大学化学学院	22	67	5.0	7.0
3	王争	北京师范大学化学学院	1	1	1.0	1.0