浅谈三种电容式微加速度计的空气阻尼

• 作者: 万蔡辛 张承亮 李丹东 薛旭
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微加速度计 空气阻尼 机械布朗噪声
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 45-47
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 1962字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.010

摘要

为明确梳齿电容式与"三明治"电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气阻尼情况,并剖析了不同的结构形式与不同的加工工艺对结构型式的约束和对精度极限的限制.为说明由尺度效应带来的微加速度计受空气阻尼影响而产生的远大于传统加速度计的机械噪声,对三种工艺的电容式微加速度计的空气阻尼与机械噪声情况进行了典型参数的半定量计算.本文的结论说明了在微观尺度下的微加速度计在机械噪声方面的量级与特征;在此基础上,引申出由于不同结构型式和工艺限制决定的微加速度计可达的精度极限.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹东		17	114	5.0	10.0
2	万蔡辛		5	17	2.0	4.0
3	张承亮		5	21	2.0	4.0
4	薛旭		6	30	4.0	5.0