金属掺杂高硬度类石墨薄膜结构及其摩擦学性能研究

• 作者: 王永欣 王立平 薛群基
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: GLC膜 金属 结构 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 72-77
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射技术制备了不同金属(Ti、Cr、Zr)掺杂类石墨(graphite-like carbon,GLC)薄膜,考察了金属掺杂对薄膜结构及其在不同环境下摩擦学性能的影响.结果表明:Ti、Cr、Zr掺杂促使GLC膜中sp2结构增加,但过快的金属共沉积速率易使薄膜出现柱状生长取向而变得疏松粗糙;高硬GLC膜在大气及水环境中具有良好的环境自适应减摩抗磨作用,适当的金属掺杂可以提高GLC膜硬度并降低其干摩擦系数,但会使其水环境中摩擦系数升高;致密度和硬度对GLC膜耐磨性至关重要,致密而硬的膜层磨损轻微.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛群基	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	219	3991	32.0	53.0
2	王立平	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	57	810	15.0	27.0
3	王永欣	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	10	111	7.0	10.0