基于微波光电导衰退法的新型少子寿命测量仪

• 作者: 何璇 张浩 陈长缨
• 来源期刊: 自动化与信息工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微波光电导衰退法 少子寿命 频移器 混频器 半导体 硅片
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 34-37
• 分类号: TN304.12
• 字数: 2913字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2605.2011.06.011

摘要

本文在传统微波光电导衰退法的基础上，提出了一种可用于测量半导体少数载流子寿命的新型少子寿命测量仪。通过增加频移器和混频器，对高频微波探测信号进行调制和解调，得到包含了样品少子浓度信息的低频信号。同时介绍了测量仪的基本原理和测量装置的结构，并分别对仪器内部的微波源、激光器、频移器和混频器的原理和参数选择进行了探讨。实验表明：测量结果波形与理论预期波形相吻合，证实T~1量仪的可行性；新的测量仪保持了传统方法非接触、无损伤的优点，并降低了系统检测设备的性能要求，提高了测量信噪比。