微波氢等离子体的特性

• 作者: 徐伟 郑晓毅
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 氢等离子体 微波放电 多普勒展宽 离子温度
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 1-3,13
• 分类号: O53|O433.4
• 字数: 2496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2011.08.001

摘要

在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽计算得到氢等离子体中的离子温度.结果显示,随着微波功率的增大,离子温度会先升高后降低；随着反应压强的增大,离子温度也先升高后降低.这说明在MPCVD装置中,可以通过调节装置,得到最佳微波能量吸收点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐伟	广州大学物理与电子工程学院	21	53	4.0	6.0
2	郑晓毅	广州大学物理与电子工程学院	2	1	1.0	1.0