He-Ar潘宁过程对表面波等离子体柱功率的影响

• 作者: 孙乃峰 徐灵飞 李建 柳建 王世庆 王坤
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面波等离子体 潘宁效应 静电双探针
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 25-28
• 分类号: O484.5|O461.1
• 字数: 3278字
• 语种: 中文

摘要

由单极驱动的表面波等离子体(Surface-wave-sustained plasma,SWP)是近年发展起来的一种低气压、高密度等离子体,这种技术非常适用于等离子体天线等领域.本文介绍了一种简易实用的SWP源,研究了He-Ar组成的潘宁气体对于表面波等离子体柱的放电起始功率及维持功率的影响.测试了不同潘宁气体配比时的等离子体密度和等离子体温度.研究结果表明,应用合适配比的潘宁气体对于等离子体特性有很大影响,它可以有效地降低放电起始功率和放电维持功率,提高等离子体密度,等离子体温度略降低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	柳建	成都理工大学工程技术学院	39	132	6.0	9.0
2	李建		1	3	1.0	1.0
3	王坤	成都理工大学工程技术学院	18	26	3.0	4.0
4	王世庆		1	3	1.0	1.0
5	徐灵飞		1	3	1.0	1.0
6	孙乃峰		1	3	1.0	1.0