SiC反射镜表面改性研究进展

• 作者: 唐惠东 孙媛媛 李龙珠 许俊宇 谭寿洪
• 来源期刊: 江苏陶瓷
• 学科: 工学
• 关键词: SiC反射镜 表面改性 CVD SiC涂层 PVD Si涂层
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 学术研究
• 页码范围: 8-12
• 分类号: TQ174.758
• 字数: 6161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7337.2011.06.004

摘要

采用SiC陶瓷作反射镜是目前国际上的一个研究热点。但是SiC陶瓷用作反射镜时存在各种类型的缺点，必须对SiC反射镜表面进行改性。本文综述了各种表面改性方法、制备机理以及优缺点，最后展望了未来SiC反射镜的发展方向：即低成本化和大型化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭寿洪	中国科学院上海硅酸盐研究所	45	1121	20.0	33.0
2	李龙珠	常州工程职业技术学院材料工程技术系	29	120	5.0	9.0
3	孙媛媛	常州工程职业技术学院材料工程技术系	30	115	6.0	9.0
4	唐惠东	常州工程职业技术学院材料工程技术系	30	93	5.0	7.0
5	许俊宇	徐州师范大学科文学院	1	6	1.0	1.0