PET薄膜在干膜生产中的应用

• 作者: 滕岩
• 来源期刊: 聚酯工业
• 学科: 工学
• 关键词: PET薄膜 干膜 线路板的制作
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 生产技术交流
• 页码范围: 53-54
• 分类号: TQ320.721
• 字数: 920字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-8261.2011.03.016

摘要

PET薄膜为干膜光阻层的载体,起保护作用,主要是隔绝氧气、分层和避免机械划伤,在曝光之后显影之前除去.其厚度呈现逐渐变薄的趋势,主要为15～19μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕岩		7	6	1.0	2.0