硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展

• 作者: 冯丽爽 周震 姚保寅 迟媛媛
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 工学
• 关键词: 微加速度计 硅谐振式加速度计 谐振器 微杠杆
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 仪表与电路
• 页码范围: 33-40
• 分类号: TH824+.4
• 字数: 5215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2011.01.008

摘要

硅谐振式加速度计(SOA)精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景.介绍了SOA的结构原理和发展概况,从谐振器,微杠杆,加工工艺,改变刚度方式,激励和检测方式等几方面对SOA的关键技术进行了综述.分析了SOA的机械耦合,加工工艺误差,梁弯曲刚度非线性等三大技术难点,并提出解决方案.最后对SOA的发展趋势进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽爽	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室	85	462	12.0	19.0
2	迟媛媛	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室	2	15	2.0	2.0
3	周震	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室	26	58	4.0	7.0
4	姚保寅	北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院微纳测控与低维物理教育部重点实验室	7	23	3.0	4.0