基于准分子激光微加工的光热微驱动器

• 作者: 伊福廷 张冬仙 王波 章海军 赵冬伟
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光热微驱动器 微加工 微驱动 动态特性 激光
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 精密加工
• 页码范围: 436-439
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2011.05.011

摘要

提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KrF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1 500 μm、宽250 μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4 mW,650 nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0～17 Hz)内,光热微驱动器具有良好的静态和动态特性,其横向偏转量最大可达11μm,足以实现微开关功能.这种光热微驱动器可由激光束直接控制,具有原理新颖、结构简洁、体积小、易于加工制作等特点,在微纳米技术领域和微光机电系统(MOEMS)中具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵冬伟	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
2	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
3	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
4	王波	中国科学院高能物理研究所	103	761	14.0	24.0
5	伊福廷	中国科学院高能物理研究所	38	150	6.0	10.0