应用低介电材料丙烯酸酯树脂作为TFT-LCD的钝化层材料

• 作者: 刘翔 周伟峰 明星 薛建设 谢振宇 赵承潭 郭建 闵泰烨 陈旭
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜晶体管液晶显示器 低介电常数 丙烯酸酯树脂 钝化层
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 器件制备技术及器件物理
• 页码范围: 19-22
• 分类号: O436.1|TN141.9
• 字数: 843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20112601.0019

摘要

将具有低介电常数的丙烯酸酯树脂作为薄膜晶体管液晶显示器的钝化层整合到阵列基板中.与传统的SiN<,x>薄膜(ε≈7)相比,丙烯酸酯树脂钝化层具有平坦的表面,其低介电常数(ε≈4.5)可以降低器件的RC延迟,这都将有利于提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率,从而提高显示器的亮度,降低能耗和制作成本.