复杂微结构偏轴刚度的求解

• 作者: 刘妤 王国超 郭长文
• 来源期刊: 机械强度
• 关键词: 微机电系统 加速度传感器 微结构 刚度 力法 功能原理
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 微电子机械系统
• 页码范围: 183-188
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数.目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式.文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式,为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础.推导中全面考虑各变形梁的影响,所以理论计算值与仿真值吻合.推广应用算例表明,该方法具有普遍意义,可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘妤	重庆理工大学汽车学院	29	41	4.0	5.0
10	郭长文	重庆理工大学汽车学院	10	3	1.0	1.0
19	王国超	重庆理工大学汽车学院	18	56	4.0	6.0