基于PVDF传感器的高速圆度测量系统

• 作者: 周洋 孔明 程琦 董盈钧
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 聚偏氟乙烯 圆度 测量仪 传感器
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 76-77,97
• 分类号: TP391
• 字数: 1692字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2011.05.025

摘要

针对机械加工行业圆度测量高速高效的要求,设计了一种基于聚偏氟乙烯(PVDF)压电薄膜的压电式位移传感器的高速圆度测量系统,利用此传感器高频响、高灵敏度、高信噪比的优势,通过与电荷放大器相结合,实现高速圆度测量.通过实验可知PVDF传感器测量频率响应在1200Hz以上,谐振峰频率在3000 Hz左右,解决了电感传感器在高速圆度测量中测量结果出现失真的问题.测量数据分析结果表明,此系统圆度测量误差可达到1 μm以内.多次测量证明,该系统测量结果重复性好、可信性高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程琦	中国计量学院计量测试工程学院	3	26	2.0	3.0
2	孔明	中国计量学院计量测试工程学院	94	214	7.0	10.0
3	周洋	中国计量学院计量测试工程学院	6	14	2.0	3.0
4	董盈钧	中国计量学院计量测试工程学院	3	5	2.0	2.0