RAS在线监测AlGaAs的MOCVD生长

• 作者: 宁永强 张星 张金龙 徐华伟 曾玉刚
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 外延生长 金属有机化合物汽相淀积 反射各向异性谱
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1297-1302
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 2209字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113211.1297

摘要

通过瞬态反射各向异性谱和瞬态反射谱在线监测和研究了AlxGa1-xAs的生长过程,利用金属有机化合物汽相淀积技术在GaAs (001)衬底上生长了多层AlxGa1-xAs结构.选择最适合在线监测生长过程的探测光能量,在此探测光能量处所得到的反射各向异性谱和反射谱的信号在生长过程中有很明显的振荡行为产生.研究发现,通过瞬态反射各向异性谱可以很好地分辨出由表面引起的光学各向异性和由界面处引起的光学各向异性,能够得到界面处形成缺陷的信息,并且发现了反射各向异性谱和反射谱的信号随着铝组分的不同而发生有规律的变化.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张星	中国科学院激发态重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	35	193	8.0	13.0
2	宁永强	中国科学院激发态重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	49	191	9.0	13.0
3	曾玉刚	中国科学院激发态重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	12	28	2.0	5.0
4	张金龙	中国科学院激发态重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	23	188	8.0	13.0
5	徐华伟	中国科学院激发态重点实验室长春光学精密机械与物理研究所	4	25	2.0	4.0