FCVA法制备的超薄类金刚石薄膜的结构分析

• 作者: 刘凡新 尹云飞 车晓舟 马洪涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空阴极过滤电弧 类金刚石薄膜 结构
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 28-32
• 分类号: TB43
• 字数: 3790字
• 语种: 中文

摘要

用真空阴极过滤电弧(Filtered Cathode Vacuum Are,FCVA)法制备厚度分别为50 nm,30 nm,10 nm,5 nm,2 nm的类金刚石(DLC)薄膜,利用托曼光谱和电子能量损失谱研究了薄膜的结构,分析了硬度和内应力的变化趋势.结果表明,随着薄膜厚度的减小,可见光拉曼光谱高斯分解的G峰位置向低波数方向移动,D峰和G峰强度之比Id/Ig不断增大,G峰面积与D峰面积之比Ag/Ad减小;说明随着薄膜厚度的减小,DLC薄膜中的sp3键含量减少,有序化的sp3团簇增加.电子能量损失谱的结果也表明薄膜厚度的减小会引起薄膜中sp3键含量的减少.当薄膜的厚度由50 nm变为30 nm时,薄膜硬度由53.85 GPa减小为39.64 GPa,内应力由4.63 GPa降低为3.47 GPa,随着厚度降低,薄膜的硬度和内应力呈下降趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹云飞	华南理工大学材料科学与工程学院	2	11	2.0	2.0
2	车晓舟	华南理工大学材料科学与工程学院	20	212	6.0	14.0
3	马洪涛		4	14	2.0	3.0
4	刘凡新		1	2	1.0	1.0