红外光学薄膜技术

• 作者: 刘鑫 张晓光 李建峰 王毕艺
• 来源期刊: 光电技术应用
• 学科: 工学
• 关键词: 红外光学薄膜 膜系设计 类金刚石 碳化锗
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件与材料
• 页码范围: 40-43
• 分类号: O484.4|TN213
• 字数: 2953字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1255.2011.01.012

摘要

介绍了红外光学薄膜在红外光学系统中的作用.详细阐述了红外光学材料的选择、相应薄膜材料的选取以及红外增透保护膜的几种设计方法,并重点介绍了类金刚石(DLC)、碳化锗(GexCl-x)、磷化物(GaP)、金刚石(Diamond)等几种薄膜材料光学性能及其应用,最后对红外增透保护膜未来的发展进行了展望.