非蒸散型吸气剂泵在真空计量中的应用研究

• 作者: 成永军 李得天
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非蒸散型吸气剂泵 真空计量标准 延伸校准下限
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 234-236
• 分类号: TB77
• 字数: 1391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2011.02.22

摘要

本文简要阐述了非蒸散型吸气剂(NEG)泵的吸气机理,着重介绍了NEG泵在超高/极高真空标准、静态膨胀法真空标准等真空计量标准中的最新应用结果.结果表明:利用NEG泵在室温下获得了10-10mPa的XHV;利用NEG泵将超高/极高真空标准校准下限延伸到了10-10Pa量级;利用NEG泵将静态膨胀法真空标准的校准下限延伸到了10-7Pa量级.最后还对用NEG泵延伸固定流导法微流量标准测量下限的可行性进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	63	622	15.0	20.0
2	成永军	兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室	39	271	9.0	13.0