纳米颗粒增强镍基MEMS器件材料的蠕变性能研究

• 作者: 王峰会 陈平伟 鲁婷婷
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS(微机电系统) 蠕变速率敏感指数 纳米压痕 LIGA(光刻电铸模造)
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 页码范围: 124-131
• 分类号: TB34
• 字数: 4383字
• 语种: 中文

摘要

利用同步辐射LIGA微铸复合工艺,将纳米氧化物增强颗粒复合到微电子机械系统(MEMS)结构材料中.制作了专用夹具,采用微力材料试验机测量了纳米Al2 O3颗粒增强镍基复合材料的强度为1GPa;将恒加载速率/载荷法和恒载荷法相结合,利用纳米压痕仪测量了该材料的室温蠕变速率敏感指数m.结果表明,LIGA复合技术得到的纳米颗粒增强镍基复合材料具有较高的强度;MEMS器件材料在室温下会发生蠕变;材料在相同压深下最大载荷不随加载速率而改变,加载段粘弹性和拈塑性变形极少;主要由局部高应力导致压痕蠕变;材料的蠕变速率敏感指数m值为0.004,说明纳米Al2O3颗粒可有效增强基体材料的杭蠕变能力;且不同恒P/P下获得的m值基本相同,表示此种材料对加载速率不敏感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王峰会	西北工业大学工程力学系	52	290	9.0	15.0
2	鲁婷婷	西北工业大学工程力学系	2	1	1.0	1.0
3	陈平伟	西北工业大学工程力学系	5	5	1.0	2.0