温度补偿对氮化铝(AIN)薄膜择优取向的影响

• 作者: 孙连婕 宋振坤 郭燕 陈希明
• 来源期刊: 天津理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化铝薄膜 择优取向 温度补偿 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 64-67
• 分类号: TU352.110.4
• 字数: 2879字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-095X.2011.04.016

摘要

氮化铝(AIN)薄膜不同的择优取向直接影响其压电性和声波传递速度.本文通过改变衬底补偿温度对AIN薄膜的择优取向进行了研究.在正常实验溅射完成后继续通入氮气对衬底进行温度补偿.应用XRD和AFM对氮化铝薄膜的取向性和表面形貌进行表征分析,结果表明本实验制备出了较好的(002)面和(100)面取向的A1N薄膜,而且薄膜沉积均匀,比较致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈希明	天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室	34	136	7.0	9.0
2	孙连婕	天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室	4	3	1.0	1.0
3	郭燕	天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	宋振坤	天津理工大学电子信息工程学院天津市薄膜电子与通信器件重点实验室	1	3	1.0	1.0