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边界层对三氯氢硅-氢气系统中多晶硅化学气相沉积的影响
边界层对三氯氢硅-氢气系统中多晶硅化学气相沉积的影响
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摘要：
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三氯氢硅和氢气系统中多晶硅化学气相沉积的数值模拟
物质传递
化学气相沉积
数值模拟
多晶硅
影响化学气相沉积多晶硅致密料比例的因素
致密料
化学气相沉积
喷嘴布置
温度配比
多晶硅化学气相沉积过程气相与表面反应模拟验证
多晶硅
化学气相沉积
数值模拟
反应机理
三氯氢硅和氢气系统的气相沉积三维模拟
化学气相沉积
数值模拟
传质
反应
多晶硅
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文献信息
| 篇名 | 边界层对三氯氢硅-氢气系统中多晶硅化学气相沉积的影响 | ||
| 来源期刊 | 中国化学工程学报（英文版） | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | |||
| 年，卷（期） | 2011,（1） | 所属期刊栏目 | 流体流动与传递现象 |
| 研究方向 | 页码范围 | 1-9 | |
| 页数 | 分类号 | O363 | |
| 字数 | 语种 | 英文 | |
| DOI | |||
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主办单位：
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出版周期：
月刊
ISSN：
1004-9541
CN：
11-3270/TQ
开本：
大16开
出版地：
北京东城区青年湖南街13号
邮发代号：
80-448
创刊时间：
1982
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