真空校准装置测控系统的设计

• 作者: 宋瑞海 张书锋 王欢 田虎林 贾军伟
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空比对 自动控制 虚拟仪器 LabVIEW
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 51-54
• 分类号: TN107
• 字数: 3083字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2011.06.013

摘要

介绍了真空比对校准装置的测量原理和工作方法,动态直接比对法、静态直接比对法和静态膨胀法等三种方法,满足了拓宽量程的需求.测控系统是真空比对法校准装置的核心系统,开发了基于虚拟仪器LabVIEW软件的控制程序,并在真空校准装置中的主标准器电容薄膜规和磁悬浮转子规等中得到了应用.详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计.实现了数据的自动采集和保存.提高了校准装置的自动化水平和工作效率.该装置可以对1×105～5×10-4Pa范围内的各类真空规进行校准,是一种结构简单、操作方便、检定效率高、实用性强的真空标准装置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋瑞海		10	25	4.0	4.0
2	张书锋		31	104	6.0	7.0
3	王欢		10	22	3.0	3.0
4	贾军伟		17	50	4.0	5.0
5	田虎林		8	14	2.0	3.0