高功率垂直腔面发射激光器的湿法腐蚀工艺

• 作者: 侯立峰 冯源 杨永庄 瞿建新 赵英杰
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 垂直腔面发射激光器 湿法腐蚀 腐蚀速率
• 年，卷（期）: 2011,（6）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 598-602
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2806字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20113206.0598

摘要

为提高高功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)光电性能,对氧化限制型高功率VCSEL湿法腐蚀工艺进行了实验研究.实验中采用H3PO4系溶液替代以往制备此类器件常用的H2SO4系溶液作为高功率VCSEL外延片的腐蚀液,利用扫描电镜(SEM)研究了腐蚀后外延片氧化窗口的腐蚀形貌变化与腐蚀液浓度的关系,消除了以往采用H2SO4系溶液腐蚀时,高功率VCSEL氧化层侧壁出现的“燕尾”结构；通过改变湿法腐蚀工艺的外部温度条件和腐蚀液的浓度配比,实验研究了高功率VCSEL湿法腐蚀速率规律,最后得出了制备高功率VCSEL时湿法腐蚀工艺的最佳外部温度条件与腐蚀液的最佳浓度配比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵英杰	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	21	148	7.0	11.0
2	侯立峰	装甲兵技术学院电子工程系	10	14	3.0	3.0
3	瞿建新	装甲兵技术学院电子工程系	11	10	2.0	3.0
4	杨永庄	装甲兵技术学院电子工程系	13	10	2.0	3.0
5	冯源	长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室	17	48	4.0	6.0