一种太阳能单晶硅片的清洗工艺

• 来源期刊: 清洗世界
• 学科: 工学
• 关键词: 单晶硅片 清洗工艺 太阳能 自来水 清洗剂 混合液 氢氟酸 离子水
• 年，卷（期）: 2011,（12）
• 页码范围: 24-24
• 分类号: TQ649.69
• 字数: 237字
• 语种: 中文

摘要

本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺，其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序，之后，先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间，