三氯氢硅的生产技术与研究进展

• 作者: 张开仕
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 三氯氢硅 硅 氯化氢
• 年，卷（期）: 2011,（8）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 11-13
• 分类号: TQ124.42
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2011.08.004

摘要

通过对国内外三氯氢硅的生产技术与研究进展进行评述,提出了三氯氢硅生产工艺的改进方法.三氯氢硅的生产方法有硅氢氯化法和四氯化硅氢化法,其中硅氢氯化法最为成熟.三氯氢硅氯化合成法工艺的关键是要在生产过程中,添加高效催化剂、优化精馏提纯工艺、采用合成尾气回收新技术,以增加收率、提高质量、降低成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张开仕	宜宾学院化学与化工学院	29	173	8.0	12.0