闪耀光栅制备工艺与结构保真性研究

• 作者: 孙国良 王海容 蒋庄德 高鲜妮
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 热压印 闪耀光栅 制备工艺 聚甲基丙烯酸甲脂 结构保真性
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 声光及光纤技术
• 页码范围: 536-539
• 分类号: TB332
• 字数: 3605字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2011.04.009

摘要

针对气体检测中分光应用的闪耀光栅,该文在硅片上制备聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)薄膜,采用热压印及后续工艺制备了硅基的聚甲基丙烯酸甲脂闪耀光栅,通过实验分析研究了复制闪耀光栅的保真特性.研究表明,通过聚甲基丙烯酸甲脂制备、热压印及后续工艺可得到具有高保真性的微闪耀光栅,而这种方法所获得的闪耀光栅与传统方法加工的闪耀光栅相比,在效率、成本方面均具有较明显的优势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
3	王海容		29	262	10.0	15.0
9	孙国良		3	10	2.0	3.0
13	高鲜妮		2	6	1.0	2.0